工藝能力

模擬采集：
測(cè)試電壓 100nv~1000V
電阻（2-線） 500μΩ~120MΩ

通道：80

數(shù)字采集：
時(shí)鐘頻率（全雙工） 最大36MHz
時(shí)鐘頻率（硬件或者軟件） 最大18MHz

溫控參數(shù)：
溫控 范圍 -60℃~150℃
升降溫速率 2℃/min

溫度波動(dòng)度：<±0.5℃ (恒定狀態(tài)時(shí))

溫度偏差：±2℃ (空載)

溫度均勻度：<±2℃ (恒定狀態(tài)時(shí))

設(shè)定精度：0.1℃

轉(zhuǎn)臺(tái)精度：
Minimum Incremental Motion ：0.72＂
Absolute Accuracy ：±25.2＂