6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
頻率 5-4000Hz
加速度 100g（空載情況下）
位移 25mm(±12.5mm)
速度 2m/s
隔振頻率 3Hz
振動(dòng)方向 垂直
動(dòng)態(tài)分析儀：
輸入通道數(shù) 16路
輸入采樣率 高達(dá)102.4 kHz，與輸出通道同步
動(dòng)態(tài)范圍 160dB
耦合方式 AC，DC，IEPE （ICP®）
輸入范圍 ：-20~+20Vpk
A/D分辨率 2×24位（雙A/D技術(shù) / 輸入通道）
測(cè)試能力：
振動(dòng)測(cè)試
正弦掃頻
共振搜索和駐留
經(jīng)典沖擊等
振動(dòng)臺(tái)
頻率 5-4000Hz
加速度 100g（空載情況下）
位移 25mm(±12.5mm)
速度 2m/s
隔振頻率 3Hz
振動(dòng)方向 垂直
動(dòng)態(tài)分析儀：
輸入通道數(shù) 16路
輸入采樣率 高達(dá)102.4 kHz，與輸出通道同步
動(dòng)態(tài)范圍 160dB
耦合方式 AC，DC，IEPE （ICP®）
輸入范圍 ：-20~+20Vpk
A/D分辨率 2×24位（雙A/D技術(shù) / 輸入通道）
測(cè)試能力：
振動(dòng)測(cè)試
正弦掃頻
共振搜索和駐留
經(jīng)典沖擊等
振動(dòng)臺(tái)
