深孔引線

頂層引線

側(cè)方引線

適用于梳齒型MEMS傳感器、執(zhí)行器的制造。

典型產(chǎn)品如：加速度計、陀螺儀、微鏡、電場傳感器等梳齒結構產(chǎn)品。

關鍵工藝點：光刻CD、梳齒的垂直度、深寬比、粗糙度、硅硅鍵合、陽極鍵合、共晶鍵合。