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MEMS流量傳感器

MEMS流量傳感器

MEMS熱式流量傳感器是一種利用流體傳熱原理的流體測量器件,可以用于檢測氣體流量、微差壓、風速。主要用于醫(yī)療、儀器、燃氣等領域,提供高精度低功耗流量檢測。月產能≥50K。

精度高

精度高:直接測量質量流量不引入二次誤差

響應快:<10ms的快速測量

靈敏度高:能對微小流量進行測量

可靠性強

無可動部件,長期保持測量性能

流場適應性強,無需特定的直管段要求

集成化

傳感器與電路集成:支持IIC和線性模擬電壓輸出

低功耗

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